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提高立方氮化硼单晶/聚晶合成棒内部温度均匀性的方法
信息来源：本站 | 发布日期： 2018-10-08 14:27:02 | 浏览量：769057
提高立方氮化硼单晶/聚晶合成棒内部温度均匀性的方法 本发明提出了一种提高立方氮化硼单晶/聚晶合成棒内部温度均匀性的方法，通过调整碳杯中电力线的分布来提高加热的均匀性.调整电力线分布，主要通过在中央增加辅助导电体从而在中央诱生额外的电力线，或者进一步的在…
本发明提出了一种提高立方氮化硼单晶/聚晶合成棒内部温度均匀性的方法，通过调整碳杯中电力线的分布来提高加热的均匀性.调整电力线分布，主要通过在中央增加辅助导电体从而在中央诱生额外的电力线，或者进一步的在导电片四周设置电力线阻挡环来减少四周的电力线，从而提高中央区域电力线的相对密度，在合成棒上下两端的径向中央区域附近形成一个电力线密集区（图2、3的M’处），提高该点的发热量，从而提高径向中央区域的温度，尤其是合成棒上下两端的径向中央区域的温度。
【主权项】：
1.一种提高立方氮化硼单晶/聚晶合成棒内部温度均匀性的方法，利用合成块合成立方氮化硼单晶或金刚石，合成块包括导电钢圈（1）、叶腊石块（2）、导电片（3）、碳杯（4）和位于碳杯（4）内的合成棒（5），其特征在于：在导电钢圈（1）的中央设置有辅助导电体（6），辅助导电体（6）在碳杯（4）中央诱生额外的电力线（7）。
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