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改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法

信息来源:本站 | 发布日期: 2020-07-01 13:16:50 | 浏览量:1187716

摘要:

1.一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:步骤一.将六方氮化硼粉末或硼粉放入六方氮化硼坩埚中,然后将镍铬合金放至六方氮化硼粉末或者硼粉上方,然后掺入金单质,最后将六方氮化硼坩埚放入CVD管式炉加热温区,其中,镍铬合金中含有…

1.一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:步骤一.将六方氮化硼粉末或硼粉放入六方氮化硼坩埚中,然后将镍铬合金放至六方氮化硼粉末或者硼粉上方,然后掺入金单质,最后将六方氮化硼坩埚放入CVD管式炉加热温区,其中,镍铬合金中含有的铬元素质量分数为50-60%,所述金单质占镍铬合金质量的0.25~4.76%,六方氮化硼粉末或者硼粉与镍铬合金的质量比为(1:20) ~ (1:10);步骤二.关闭CVD炉管两端进出气口法兰阀门,用真空泵将CVD炉管抽至真空,抽至气压在10Pa以下,抽完关闭真空泵,通氮气流至常压,重复3~5次除尽炉管中空气,最后通入氮气流保护,气流量为60~100 sccm;步骤三.加热样品至1450-1600℃,保持5-30小时,然后以小于5℃/h的速度降温至1400℃,结束加热,自然冷却,取出样品。2.根据权利要求1所述的一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,所述步骤一中将六方氮化硼粉末或者硼粉放入六方氮化硼坩埚中前,先依次使用去离子水和乙醇冲洗CVD炉管,静置晾干后放入管式炉中在氮气流下加热至1200℃退火保持1h清除杂质,将六方氮化硼坩埚用去离子水和乙醇洗后用空气压缩机吹干或置于烘箱中烘干后使用。3.根据权利要求1所述的一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,所述步骤一中镍铬合金中含有的铬元素质量分数为50%,镍铬合金为金属块体、金属颗粒和金属粉末中的至少一种。4.根据权利要求1所述的一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,所述金单质占镍铬合金质量的4.76%,六方氮化硼粉末与镍铬合金的质量比为1:10,硼粉与镍铬合金的质量比为1:20。5.根据权利要求1所述的一种改善大块六方相氮化硼单晶质量的方法,其特征在于,将装有原料的六方氮化硼坩埚放入氧化铝坩埚舟后再放入CVD管式炉加热温区。

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