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一种六方氮化硼薄膜的制备剥离及转移方法
信息来源：本站 | 发布日期： 2020-05-20 08:47:58 | 浏览量：1180144
本发明公开一种六方氮化硼薄膜的制备剥离及转移方法，通过磁控溅射的方式制备出六方氮化硼薄膜(h-BN薄膜)，并采用溶液浸泡的物理方法，实现快速大面积的完整剥离。通过去离子水或碱性溶液的不同配比实现对h-BN薄膜剥离速度的控制。本发明利用磁控溅射的方式制备h-BN薄膜，…
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