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六方氮化硼成核层减小MOCVD外延生长氮化铝薄膜的应力及裂纹
信息来源：本站 | 发布日期： 2020-04-14 09:38:55 | 浏览量：1576976
利用单层六方BN材料(hexagonal BN:hBN)作为成核层,用金属有机物化学气相沉积法生长AlN薄膜,得到应力小裂纹少的外延材料。实验中,对hBN材料进行人为表面化学修饰,以增加hBN的缺陷和后续AlN生长的成核中心。对比分析了有无hBN成核层时生长的AlN薄膜质量,证实了hBN有助于减少…
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