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氮化硼片在硼掺杂中的应用
信息来源：本站 | 发布日期： 2018-08-03 14:40:15 | 浏览量：1477063
氮化硼片做为硼源,美国于1968年开始研制使用氮化硼片,日本于1970年开始研制使用。我国1976年才开始采用了建材院生产的氮化硼片,改进了粉状氮化硼源的一些缺陷,改善了硼扩散工艺。 一、氮化硼片的应用工艺 1.氮化硼片的清洗: 1)包装良好,可直接使用; 2)包装较好,只用…
氮化硼片做为硼源,美国于1968年开始研制使用氮化硼片,日本于1970年开始研制使用。我国1976年才开始采用了建材院生产的氮化硼片,改进了粉状氮化硼源的一些缺陷,改善了硼扩散工艺。
一、氮化硼片的应用工艺 1.氮化硼片的清洗: 1)包装良好,可直接使用; 2)包装较好,只用去离于水冲煮、烘干即可; 3)有轻微油类沾污,可用丙酮、乙醇浸泡,用去离子水冲煮烘干; 4)沾污较重,可用酸性或碱性溶液(如1”2”付蚀液、氢氟酸溶液等)清洗,然后水煮、冲洗、烘干。 5)沾污严重,可用干净硅片将氮化硼片表面刮去一层,然后水煮、冲洗、烘干。 2.氮化硼片的干燥 氮化硼片的干燥是极为重要的。在200～400”C的干氮中至少应烘3个小时以上(通常在炉口进行),否则将影响活化质量。 3.氧化硼片的活化 活化的目的是将氮化硼片转换为三氧化二硼,共反应式为: 4BN+3O。一ZB刀。+2N。寸活化温度为:淡硼970“C,浓硼1050”C。
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