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氮化硼园片固态扩散
信息来源：本站 | 发布日期： 2018-08-03 17:23:13 | 浏览量：1444909
最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,.经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。 我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.9”%。 考虑到在高温下(1000℃以上)氮化砚园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园…
最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,.经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。 我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.9”%。 考虑到在高温下(1000℃以上)氮化砚园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园片的热膨胀系数与石英的热膨胀系数的不匹配性,设计了层式扩散舟。
氮化硼园片放置在扩散舟中间一层,使氮化硼园片与硅片之间保持一定间距。硅片只与石英舟接触,而氮化硼园片则不与石英舟接触,这种层式扩散舟的优点是放置样品非常方便。 兔化硼园片与硅片间距对表面方块电阻和表面状态有明显的影响,间距不能太近,否则容易染色并产生合金点。间距只有在某一定范围内变化(在我们的条件情况下是3000一6000微米)才对表面方块电阻影响不大。
由于目前使用的氮化硼园片本身含B:O,较多,因此,清洗时尽量避免用温、热水冲洗。清洗的过程是:四氯化碳棉球拭擦,四氯化碳超声清洗3分钟,丙酮超声。
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