- 新闻中心
- news Center
- 联系我们
- Contact Us
苏州纳朴材料科技有限公司
- 联系人：
李女士
- Contact:
Ms. Li
- 手机：
18970647474(同微信)
- Mobile Phone:
+86-18970647474
(WeChat ID)
- 邮箱：
- E-mail:
2497636860@qq.com
- 办公室地址：
苏州市相城区聚茂街185号D栋11层1102
- Office Address:
D-1102, 185, Jumao Street, Xiangcheng, Suzhou, Jiansu, China
- 工厂地址：
江西省吉安市井冈山经济技术开发区
- Plant Address:
Jinggangshan Economic Development Zone, Ji' an 343000, Jiangxi, China
氮化硼园片固态扩散
信息来源：本站 | 发布日期： 2018-08-03 17:23:13 | 浏览量：1577838
最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,.经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。 我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.9”%。 考虑到在高温下(1000℃以上)氮化砚园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园…
最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,.经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。 我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.9”%。 考虑到在高温下(1000℃以上)氮化砚园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园片的热膨胀系数与石英的热膨胀系数的不匹配性,设计了层式扩散舟。
氮化硼园片放置在扩散舟中间一层,使氮化硼园片与硅片之间保持一定间距。硅片只与石英舟接触,而氮化硼园片则不与石英舟接触,这种层式扩散舟的优点是放置样品非常方便。 兔化硼园片与硅片间距对表面方块电阻和表面状态有明显的影响,间距不能太近,否则容易染色并产生合金点。间距只有在某一定范围内变化(在我们的条件情况下是3000一6000微米)才对表面方块电阻影响不大。
由于目前使用的氮化硼园片本身含B:O,较多,因此,清洗时尽量避免用温、热水冲洗。清洗的过程是:四氯化碳棉球拭擦,四氯化碳超声清洗3分钟,丙酮超声。
-
2026-09-14 08:38:57
做 AI 的同行都懂一个越来越痛的现实：模型越大、算力越猛，电费越烧越凶。大模型算力需求每两个月翻一番，GPU 单卡功耗冲到 300 多瓦，数据中心一年电…
-
2026-09-07 08:30:13
本综述系统性地考察了六方氮化硼（h-BN）及其衍生物的表面化学与先进调控方法，重点强调了其独特的结构、电子和光学性质，这些性质使其得以广泛应用于众…
-
2026-08-31 09:18:15
研究背景固态自旋缺陷已成为多种量子技术的重要平台，包括多节点量子网络和量子增强传感。这些进展主要得益于可光学寻址的相干自旋所构建的自旋-光子量…
-
2026-08-27 15:35:34
近日，由井冈山大学与吉安纳朴材料科技有限公司联合完成的产学研合作项目——“高纯超细非氧化物特种陶瓷粉体产业化”，在第十二届国际发明展览会“一带…
-
2026-08-24 08:39:56
二维过渡金属硫族半导体的器件性能很容易受到底层栅介质衬底的影响，介质界面的偶极效应、电荷转移会带来不可控的非故意掺杂，这也是单层二硫化钼器件经…
-
2026-08-03 08:26:25
新加坡国立大学领导的国际研究团队开发出一种微型忆阻型射频开关，可在无需持续供电的情况下保持工作状态，并首次将其应用于可重新配置的单片微波集成电…
