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热解氮化硼(PBN)属于六方晶系
信息来源:本站 | 发布日期: 2018-01-25 15:56:10 | 浏览量:774001
一、产品简介 热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,为先进陶瓷材料,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(CVD)而成,既可以制备PBN板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等PBN最终…
热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,为先进陶瓷材料,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(CVD)而成,既可以制备PBN板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等PBN最终产品。
二、主要特点
它与普通的热压氮化硼(BN)不同,不必经过传统的热压烧结过程,不添加任何烧结剂,因此获得的产品具有如下显著特点:
(1) 无毒、无味;
(2) 纯度高,达到99.999%以上;
(3) 室温下与酸、碱、盐及有机试剂不反应,在熔融的盐、碱液中略腐蚀,但能抗高温下各种酸的腐蚀;
(4) 与大多数熔融金属、半导体及其化合物不反应;
(5) 在1000℃以下,抗氧化性能良好;
(6) 抗热震性能良好,2000℃投入水中未见裂纹;
(7) 使用温度高,无升华点,在3000℃以上直接分解为B和N;
(8) 电阻高,电绝缘性能好;
(9) 表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不湿润。
三、产品应用
(1) OLED 蒸发单元
(2) 半导体单晶生长(VGF、LEC)坩埚
(3) 分子束外延(MBE)蒸发坩埚
(4) MOCVD 加热器
(5) 多晶合成舟
(6) PBN红外窗口
(7) 卫星通讯微波管
(8) PBN涂层载盘
(9) 高温、高真空设备绝缘板
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